การผลิตอิเล็กทรอนิกส์ แผงวงจรพิมพ์ (Printed Circuit Board: PCB) และเซมิคอนดักเตอร์มักต้องการสภาพแวดล้อมของก๊าซที่มีการควบคุม เพื่อจำกัดการสัมผัสกับออกซิเจนที่ไม่ต้องการ สนับสนุนการไล่อากาศ และรักษาสภาวะการผลิตให้มีเสถียรภาพ
ไนโตรเจนถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายเพื่อวัตถุประสงค์เหล่านี้ เนื่องจากไม่สนับสนุนการเผาไหม้และมีความไวต่อปฏิกิริยาค่อนข้างต่ำภายใต้สภาวะอุตสาหกรรมทั่วไปหลายประเภท
สำหรับโรงงานที่มีความต้องการไนโตรเจนเป็นประจำ เครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA สำหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ (PSA Nitrogen Generator for Electronics & Semiconductor Manufacturing) สามารถผลิตไนโตรเจนภายในสถานที่จากลมอัดได้ อย่างไรก็ตาม ควรเลือกระบบที่เหมาะสมตามข้อกำหนดของกระบวนการจริง ไม่ใช่พิจารณาจากความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนเพียงอย่างเดียว
อัตราการไหล ความดัน ณ จุดใช้งาน ความชื้น การควบคุมการปนเปื้อน การตรวจติดตาม ความซ้ำซ้อน และข้อกำหนดด้านคุณภาพก๊าซปลายทาง ล้วนสามารถส่งผลต่อความเหมาะสมของแหล่งจ่ายไนโตรเจนสำหรับแต่ละกระบวนการ
สำหรับข้อมูลภาพรวมของภาคส่วนนี้ สามารถดู โซลูชันสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และการผลิตที่มีความแม่นยำ
เหตุใดจึงใช้ไนโตรเจนในการผลิตอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์
ไนโตรเจนสามารถช่วยสร้างบรรยากาศที่มีออกซิเจนต่ำและอยู่ภายใต้การควบคุมรอบผลิตภัณฑ์ อุปกรณ์ หรือกระบวนการผลิตบางประเภท
วัตถุประสงค์ที่แท้จริงแตกต่างกันอย่างมากระหว่างสายการผลิต SMT กระบวนการ PCB งานประกอบอิเล็กทรอนิกส์ และโรงงานเซมิคอนดักเตอร์
ดังนั้น ควรกำหนดข้อมูลจำเพาะของไนโตรเจนจากกระบวนการแต่ละประเภท แทนการใช้ค่าความบริสุทธิ์แบบสากลที่เรียกว่า “ไนโตรเจนเกรดอิเล็กทรอนิกส์” หรือ “ไนโตรเจนเกรดเซมิคอนดักเตอร์”
ไนโตรเจนสำหรับการบัดกรีแบบรีโฟลว์และเวฟ
หนึ่งในการใช้งานที่ชัดเจนที่สุดในการผลิตอิเล็กทรอนิกส์คือการบัดกรีภายใต้บรรยากาศไนโตรเจน
ระหว่างการบัดกรีที่อุณหภูมิสูง พื้นผิวโลหะและโลหะบัดกรีสามารถเกิดออกซิเดชันได้ การลดออกซิเจนบริเวณพื้นที่บัดกรีสามารถช่วยจำกัดการเกิดออกซิเดชันและสนับสนุนสภาวะของกระบวนการให้มีความสม่ำเสมอมากขึ้น
ดังนั้น ไนโตรเจนอาจใช้ใน:
- การบัดกรีแบบรีโฟลว์ (Reflow Soldering)
- การบัดกรีแบบเวฟ (Wave Soldering)
- กระบวนการบัดกรีแบบเลือกจุดบางประเภท (Selective Soldering)
- งานประกอบอื่นที่ใช้บรรยากาศควบคุม
ประโยชน์ที่แท้จริงต่อกระบวนการขึ้นอยู่กับปัจจัยต่าง ๆ เช่น โลหะผสมบัดกรี ฟลักซ์ การตั้งค่าอุปกรณ์ ความเข้มข้นของออกซิเจน โปรไฟล์อุณหภูมิ การออกแบบชิ้นส่วน และข้อกำหนดด้านการผลิต
ดังนั้น ควรพิจารณาไนโตรเจนเป็นตัวแปรหนึ่งภายในระบบการบัดกรีทั้งหมด ไม่ใช่โซลูชันแบบแยกเดี่ยวสำหรับแก้ไขข้อบกพร่องในการบัดกรี
ไนโตรเจนสำหรับการไล่อากาศและบรรยากาศควบคุม
โรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์อาจใช้ไนโตรเจนเพื่อแทนที่อากาศหรือก๊าซตกค้างจากอุปกรณ์ ระบบท่อ ตู้ปิด หรือพื้นที่กระบวนการบางประเภท
การใช้งานอาจประกอบด้วย:
- การไล่อากาศออกจากอุปกรณ์
- การไล่อากาศออกจากระบบท่อก๊าซ
- ตู้หรือพื้นที่ที่ใช้บรรยากาศควบคุม
- การทำให้ภาชนะกระบวนการบางประเภทเป็นสภาวะเฉื่อย
- ขั้นตอนการบำรุงรักษาหรือเริ่มเดินระบบ
โดยเฉพาะในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ข้อมูลจำเพาะของก๊าซสามารถแตกต่างกันอย่างมากระหว่างแต่ละกระบวนการ
การทำงานบางประเภทอาจต้องการข้อจำกัดด้านความบริสุทธิ์และการปนเปื้อนที่สูงกว่าข้อมูลจำเพาะทั่วไปของไนโตรเจนอุตสาหกรรมที่ผลิตด้วย PSA
ดังนั้น เจ้าของกระบวนการควรกำหนดค่าที่ยอมรับได้สำหรับ ออกซิเจน ความชื้น อนุภาค ไฮโดรคาร์บอน และสารปนเปื้อนอื่นที่เกี่ยวข้อง ก่อนเลือกระบบไนโตรเจน
ไนโตรเจนสำหรับชิ้นส่วนและวัสดุที่มีความไว
วัสดุอิเล็กทรอนิกส์ ชิ้นส่วน ผลิตภัณฑ์ระหว่างกระบวนการ หรือขั้นตอนการผลิตบางประเภทอาจได้รับประโยชน์จากการลดการสัมผัสกับออกซิเจนหรือความชื้น
ในการใช้งานเหล่านี้ สามารถใช้ไนโตรเจนเป็นบรรยากาศป้องกันระหว่างการจัดการ การจัดเก็บ การแปรรูป หรือการบรรจุ
อย่างไรก็ตาม คุณภาพไนโตรเจนที่ต้องการยังคงขึ้นอยู่กับผลิตภัณฑ์และกระบวนการจริง
ค่าร้อยละความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนที่สูงเพียงอย่างเดียวไม่ได้ยืนยันว่าก๊าซนั้นเหมาะสำหรับการใช้งานด้านอิเล็กทรอนิกส์หรือเซมิคอนดักเตอร์ทุกประเภท
เครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA ทำงานอย่างไร
เครื่องผลิตไนโตรเจนของ Lingyu ใช้เทคโนโลยีการดูดซับแบบสลับความดัน (Pressure Swing Adsorption: PSA)
เครื่องผลิตใช้ถังดูดซับสองถังที่บรรจุตะแกรงโมเลกุลคาร์บอน (Carbon Molecular Sieve: CMS)
ลมอัดเข้าสู่ถังหนึ่ง โดย CMS จะดูดซับออกซิเจนเป็นหลัก ขณะที่ไนโตรเจนไหลผ่านชั้นดูดซับออกมาเป็นก๊าซผลิตภัณฑ์ ในเวลาเดียวกัน ถังอีกใบจะถูกลดความดันและเข้าสู่กระบวนการฟื้นฟู
ถังทั้งสองจะสลับการทำงานโดยอัตโนมัติภายใต้การควบคุม PLC เพื่อให้สามารถผลิตไนโตรเจนที่ระดับความบริสุทธิ์ที่กำหนดได้อย่างต่อเนื่อง
สำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม สามารถดู หลักการทำงานของการผลิตไนโตรเจนแบบ PSA
เลือกความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนตามกระบวนการจริง
ไม่มีข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนเพียงค่าเดียวที่ใช้ได้กับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์หรือเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด
กลุ่มเครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA ของ Lingyu ครอบคลุมความบริสุทธิ์ประมาณ 95%–99.999% โดยมีรูปแบบต่าง ๆ เช่น 99%, 99.5%, 99.9% และ 99.99%
ควรกำหนดข้อมูลจำเพาะที่เหมาะสมจากปริมาณออกซิเจนตกค้างที่กระบวนการยอมรับได้และข้อจำกัดด้านคุณภาพก๊าซอื่น ๆ
ตัวอย่างเช่น การไล่อากาศออกจากอุปกรณ์ทั่วไปอาจมีข้อกำหนดแตกต่างจากไนโตรเจนที่ใช้ในการบัดกรีภายใต้บรรยากาศควบคุม หรือกระบวนการผลิตที่มีความไวสูงเป็นพิเศษ
ดังนั้น ผู้ซื้อควรหลีกเลี่ยงการเลือกความบริสุทธิ์สูงที่สุดที่มีอยู่เป็นค่าเริ่มต้น
เมื่อใดจึงควรประเมินไนโตรเจนความบริสุทธิ์ 99.99%
สามารถประเมิน เครื่องผลิตไนโตรเจนความบริสุทธิ์ 99.99% ได้ในกรณีที่ข้อกำหนดด้านออกซิเจนของกระบวนการสอดคล้องกับระดับความบริสุทธิ์ดังกล่าว
อย่างไรก็ตาม ไม่ควรถือว่า 99.99% เป็นข้อกำหนดสากลสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การเลือกที่ถูกต้องควรพิจารณา:
- ความเข้มข้นของออกซิเจนสูงสุดที่ยอมรับได้
- อัตราการไหลของไนโตรเจนที่ต้องการ
- ความดัน ณ จุดใช้งาน
- ข้อกำหนดด้านความชื้นหรือจุดน้ำค้าง
- ข้อจำกัดด้านการปนเปื้อน
- ตารางการทำงาน
- ข้อกำหนดด้านความน่าเชื่อถือ
เมื่อจำเป็นต้องมีปริมาณออกซิเจนตกค้างต่ำมาก
การใช้งานเฉพาะทางบางประเภทอาจต้องการปริมาณออกซิเจนตกค้างต่ำกว่าที่รูปแบบ PSA มาตรฐานสามารถผลิตได้อย่างคุ้มค่าทางเศรษฐศาสตร์
สำหรับการใช้งานเหล่านี้ ระบบทำให้บริสุทธิ์ด้วยการกำจัดออกซิเจนแบบใช้คาร์บอน (Carbon-Based Deoxygenation Purification System) ของ Lingyu สามารถเพิ่มความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนจาก PSA ที่ประมาณ 99.9% เป็น ≥99.999% โดยมี:
- ออกซิเจน: ≤10 ppm
- CO₂: ≤5 ppm
- จุดน้ำค้างของไนโตรเจนที่ความดันบรรยากาศ: ≤−60°C
ควรเลือกระบบทำให้บริสุทธิ์เพิ่มเติมนี้เฉพาะเมื่อกระบวนการจริงต้องการ
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการใช้งานที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง สามารถดูคู่มือเครื่องผลิตไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูง
แม้จะมีความบริสุทธิ์ของไนโตรเจน ≥99.999% เพียงอย่างเดียว ก็ยังไม่สามารถกำหนดข้อกำหนดด้านคุณภาพก๊าซทั้งหมดสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ทุกประเภทได้
การใช้งานแต่ละประเภทอาจกำหนดข้อจำกัดเพิ่มเติมสำหรับความชื้น อนุภาค ไฮโดรคาร์บอน หรือสารปนเปื้อนอื่น ๆ
กำหนดอัตราการไหลของไนโตรเจนตามรูปแบบความต้องการจริง
โรงงานอิเล็กทรอนิกส์แต่ละแห่งสามารถมีรูปแบบความต้องการไนโตรเจนแตกต่างกันอย่างมาก
สายการบัดกรีอาจมีปริมาณการใช้ต่อเนื่องที่ค่อนข้างคาดการณ์ได้ ขณะที่การไล่อากาศออกจากอุปกรณ์หรือการเริ่มเดินสายการผลิตหลายสายพร้อมกันสามารถสร้างความต้องการสูงสุดชั่วคราวได้
ดังนั้น การกำหนดขนาดระบบควรพิจารณา:
- ปริมาณการใช้ไนโตรเจนเฉลี่ย
- ความต้องการพร้อมกันสูงสุด
- จำนวนสายการผลิต
- เหตุการณ์การไล่อากาศ
- รูปแบบการทำงานตามกะ
- การขยายกำลังการผลิตในอนาคต
- กำลังสำรองที่ต้องการ
การกำหนดขนาดจากปริมาณการใช้เฉลี่ยเพียงอย่างเดียวอาจทำให้อัตราการไหลหรือความดันไม่เพียงพอในช่วงการทำงานที่มีความต้องการสูงสุด
ดังนั้น กำลังการผลิตของเครื่องควรรองรับทั้งความต้องการในการผลิตตามปกติและสภาวะความต้องการสูงสุดที่มีโอกาสเกิดขึ้นจริง
ใช้ระบบจัดเก็บในถังบัฟเฟอร์เพื่อเพิ่มเสถียรภาพของแหล่งจ่าย
ถังบัฟเฟอร์ไนโตรเจน (Nitrogen Buffer Tank) สามารถช่วยจัดการความแตกต่างระหว่างกำลังการผลิตที่ค่อนข้างคงที่ของเครื่องกับความต้องการที่เปลี่ยนแปลงของสายการผลิต
รูปแบบระบบ PSA ของ Lingyu ประกอบด้วยทั้งอุปกรณ์บัฟเฟอร์ลมอัดและถังบัฟเฟอร์ไนโตรเจน พร้อมด้วยระบบวิเคราะห์ไนโตรเจน/ออกซิเจนและส่วนประกอบควบคุมความดัน
ในช่วงที่มีความต้องการต่ำ เครื่องผลิตสามารถเติมไนโตรเจนเข้าสู่ระบบจัดเก็บ เมื่อเกิดความต้องการสูงในช่วงเวลาสั้น ถังบัฟเฟอร์สามารถเสริมกำลังการผลิตของเครื่องและช่วยรักษาเสถียรภาพของความดันจ่ายปลายทาง
ควรคำนวณปริมาตรจัดเก็บที่เหมาะสมจาก:
- กำลังการผลิตของเครื่อง
- ปริมาณการใช้สูงสุด
- ระยะเวลาของความต้องการสูงสุด
- ความดันในการจัดเก็บ
- ความดัน ณ จุดใช้งานต่ำสุดที่ยอมรับได้
ระบบจัดเก็บในถังบัฟเฟอร์ควรทำงานเสริมกับการกำหนดขนาดเครื่องผลิตที่ถูกต้อง ไม่ใช่ใช้เพื่อชดเชยเครื่องผลิตไนโตรเจนที่มีขนาดเล็กเกินไป
แยกความดันลมป้อนของ PSA ออกจากความดัน ณ จุดใช้งาน
ความดันไนโตรเจนที่อุปกรณ์การผลิตจริงเป็นอีกหนึ่งพารามิเตอร์สำคัญในการเลือกระบบ
ระบบ PSA มาตรฐานของ Lingyu ใช้ความดันลมอัดขาเข้าที่ 0.5–0.8 MPa
ค่านี้คือความดันลมป้อนที่เข้าสู่เครื่องผลิตไนโตรเจน ไม่ควรตีความว่าเป็นความดันไนโตรเจนที่จะมีให้โดยอัตโนมัติที่อุปกรณ์บัดกรี เครื่องมือกระบวนการ หรือผู้ใช้งานปลายทางอื่น
ระบบจ่ายควรพิจารณา:
- ความยาวของระบบท่อ
- ตัวควบคุมความดัน
- ตัวกรอง
- วาล์ว
- อัตราการไหลพร้อมกัน
- การสูญเสียความดันในระบบจ่าย
หากการใช้งานบางประเภทต้องการความดันแตกต่างออกไป อาจจำเป็นต้องมีระบบควบคุมความดัน ระบบจัดเก็บ หรือการเพิ่มความดันปลายทางที่เหมาะสม
คุณภาพลมอัดเป็นส่วนหนึ่งของการออกแบบระบบไนโตรเจน
การผลิตไนโตรเจนแบบ PSA ต้องอาศัยลมอัดที่ผ่านการปรับปรุงคุณภาพอย่างเหมาะสม
ความชื้น น้ำมัน และอนุภาคปนเปื้อนสามารถส่งผลต่อตัวกรอง วาล์วนิวเมติก CMS เครื่องวิเคราะห์ และสมรรถนะของระบบในระยะยาว
สำหรับโรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งการควบคุมการปนเปื้อนอาจมีความสำคัญเป็นพิเศษ ควรประเมินระบบลมอัดต้นทางร่วมกับเครื่องผลิตไนโตรเจน
กลุ่มระบบกรองของ Lingyu ประกอบด้วยขั้นตอนการกรองระดับ AO, AA, AX และการกรองด้วยถ่านกัมมันต์ (Activated-Carbon Filtration) สำหรับข้อกำหนดด้านการปรับปรุงคุณภาพที่แตกต่างกัน
ตามรูปแบบการปรับปรุงคุณภาพที่ต้องการ ตัวกรองลมอัดความแม่นยำสูง สามารถเป็นส่วนหนึ่งของระบบปรับปรุงคุณภาพลมก่อนเข้าสู่ PSA ได้
ระบบที่สมบูรณ์อาจมีรูปแบบดังนี้:
เครื่องอัดอากาศ → ถังพักลม → เครื่องทำลมแห้ง → ระบบกรอง → เครื่องผลิต PSA → ถังบัฟเฟอร์ไนโตรเจน → เครื่องวิเคราะห์ → ระบบจ่าย
ควรกำหนดระดับการกรองและการทำลมให้แห้งที่ต้องการจากทั้งข้อกำหนดของเครื่องผลิตและข้อมูลจำเพาะของกระบวนการผลิตปลายทาง
กำหนดจุดน้ำค้างของไนโตรเจนแยกจากความบริสุทธิ์
ความบริสุทธิ์และความแห้งของไนโตรเจนเป็นข้อมูลจำเพาะคนละรายการ
ระบบ PSA มาตรฐานของ Lingyu ให้จุดน้ำค้างของไนโตรเจน (Nitrogen Dew Point) ที่ ≤−40°C ภายใต้สภาวะการทำงานที่ระบุ
ไม่ควรถือว่าค่านี้เพียงพอสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ทุกประเภทโดยอัตโนมัติ
ในกรณีที่ความชื้นเป็นปัจจัยสำคัญ ควรกำหนดจุดน้ำค้างที่ต้องการแยกต่างหากตามข้อกำหนดของกระบวนการหรืออุปกรณ์จริง
ประเด็นนี้มีความสำคัญเป็นพิเศษ เนื่องจากการเลือกค่าร้อยละความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนที่สูงไม่ได้รับประกันโดยอัตโนมัติว่าจะสามารถตอบสนองข้อกำหนดด้านความชื้นของกระบวนการปลายทางได้ด้วย
ตรวจติดตามความบริสุทธิ์และอัตราการไหลของไนโตรเจน
สำหรับการผลิตแบบต่อเนื่อง ผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องทราบว่าแหล่งจ่ายไนโตรเจนยังคงอยู่ภายในช่วงการทำงานที่กำหนดหรือไม่
การออกแบบ PSA ของ Lingyu รองรับการตรวจติดตามความบริสุทธิ์และอัตราการไหลของไนโตรเจนแบบเรียลไทม์
หน้าจอสัมผัสแสดงความดัน ความบริสุทธิ์ อัตราการไหล และสถานะการทำงานของระบบ
ระบบยังมีการแจ้งเตือนไนโตรเจนที่ไม่เป็นไปตามข้อกำหนด (Off-Spec Nitrogen Alarm) หากความบริสุทธิ์ยังคงต่ำกว่าค่าที่กำหนดตามระยะเวลาที่ตั้งไว้ ระบบสามารถหยุดการทำงานโดยอัตโนมัติเพื่อการป้องกัน
สำหรับกระบวนการผลิตที่มีความสำคัญ โครงการควรกำหนดเพิ่มเติมว่าสัญญาณจากเครื่องวิเคราะห์ ระบบแจ้งเตือน ระบบอินเตอร์ล็อก (Interlocks) และแหล่งจ่ายสำรองจะทำงานร่วมกับระบบควบคุมของโรงงานอย่างไร
วางแผนความน่าเชื่อถือและความซ้ำซ้อนตามความเสี่ยงของการผลิต
โรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์สามารถทำงานด้วยตารางการผลิตที่ยาวนาน ทำให้ความพร้อมใช้งานของระบบไนโตรเจนเป็นปัจจัยสำคัญ
ระดับความซ้ำซ้อน (Redundancy) ที่ต้องการควรขึ้นอยู่กับผลกระทบจากการสูญเสียแหล่งจ่ายไนโตรเจน
มาตรการที่สามารถประเมินได้ ได้แก่:
- ระบบจัดเก็บไนโตรเจนในถังบัฟเฟอร์
- แหล่งจ่ายไนโตรเจนสแตนด์บาย
- กำลังการผลิตสำรองของเครื่องผลิต
- อุปกรณ์สำคัญแบบซ้ำซ้อน
- กลยุทธ์การบำรุงรักษาตามแผน
สายการผลิตแต่ละสายไม่จำเป็นต้องมีระดับความซ้ำซ้อนเท่ากัน
โครงการควรแยกระหว่างผู้ใช้ไนโตรเจนที่ไม่มีความสำคัญสูงกับกระบวนการที่การหยุดจ่ายไนโตรเจนอาจทำให้การผลิตหยุดชะงักหรือส่งผลต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์
ประเมินการใช้พลังงานและต้นทุนการดำเนินงานรวม
การผลิตไนโตรเจนแบบ PSA ภายในสถานที่สามารถลดการพึ่งพาถังก๊าซหรือไนโตรเจนแบบปริมาณมากที่จัดส่งจากภายนอกได้ แต่ผลประโยชน์ทางการเงินขึ้นอยู่กับแต่ละโรงงาน
ปัจจัยทางเศรษฐศาสตร์ที่สำคัญ ได้แก่:
- ปริมาณการใช้ไนโตรเจน
- ความบริสุทธิ์ที่ต้องการ
- ความต้องการลมอัด
- ประสิทธิภาพของเครื่องอัดอากาศ
- ค่าไฟฟ้า
- ชั่วโมงการทำงาน
- การสูญเสียจากระบบปรับปรุงคุณภาพลม
- การบำรุงรักษา
- ระบบจัดเก็บ
- แหล่งจ่ายสำรอง
กระบวนการปรับสมดุลความดันแบบไม่เท่ากันที่ได้รับการปรับให้เหมาะสม (Optimized Unequal-Pressure Equalization Process) ของ Lingyu สามารถช่วยลดการใช้พลังงานโดยรวมทางอ้อมประมาณ 5%
อย่างไรก็ตาม การประหยัดจริงเมื่อเปรียบเทียบกับไนโตรเจนที่จัดส่งจากภายนอกยังคงขึ้นอยู่กับสภาวะการทำงานและต้นทุนเฉพาะของแต่ละสถานที่
สำหรับการวิเคราะห์ต้นทุนที่ครอบคลุมยิ่งขึ้น สามารถดู คู่มือต้นทุนและผลตอบแทนจากการลงทุนของเครื่องผลิตไนโตรเจน
รายการตรวจสอบสำคัญสำหรับการเลือกระบบ
ก่อนเลือกเครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA สำหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์หรือเซมิคอนดักเตอร์ ควรกำหนด:
- ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนหรือปริมาณออกซิเจนตกค้างสูงสุดที่ต้องการ
- ข้อจำกัดของสารปนเปื้อนอื่นที่ต้องการ
- อัตราการไหลเฉลี่ยและสูงสุด
- ความดัน ณ จุดใช้งาน
- จุดน้ำค้างของไนโตรเจนที่ต้องการ
- ความดันและคุณภาพของลมอัดที่มีอยู่
- จำนวนจุดใช้ไนโตรเจน
- ชั่วโมงการผลิต
- ข้อกำหนดของระบบจัดเก็บในถังบัฟเฟอร์
- ข้อกำหนดด้านความซ้ำซ้อน
- ข้อกำหนดของเครื่องวิเคราะห์และระบบควบคุม
- การเพิ่มกำลังการผลิตที่คาดการณ์ในอนาคต
สำหรับกรอบทางวิศวกรรมที่ครอบคลุมยิ่งขึ้น สามารถดู คู่มือการเลือกเครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA
ข้อกำหนดสำหรับ MES, SCADA และการตรวจติดตามระยะไกล
ในกรณีที่ต้องการการตรวจติดตามระยะไกลหรือการผสานข้อมูลในระดับโรงงาน ควรกำหนดข้อกำหนดด้านการสื่อสารระหว่างขั้นตอนวิศวกรรมโครงการ
ข้อมูลจำเพาะของโครงการควรระบุข้อกำหนดต่าง ๆ เช่น:
- อินเทอร์เฟซการสื่อสาร (Communication Interface)
- จุดข้อมูลที่ต้องการ
- โปรโตคอลการสื่อสาร
- สัญญาณแจ้งเตือน
- ข้อกำหนดด้านการตรวจติดตามระยะไกล
- สิทธิ์ในการควบคุม
ฟังก์ชันเหล่านี้ควรได้รับการยืนยันสำหรับรูปแบบอุปกรณ์จริงที่จะจัดหาให้ ไม่ควรสันนิษฐานว่ามีรวมอยู่ในระบบเครื่องผลิตไนโตรเจนมาตรฐานทุกชุด
สรุป
เครื่องผลิตไนโตรเจนแบบ PSA สำหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์สามารถเป็นแหล่งไนโตรเจนภายในสถานที่สำหรับการบัดกรีภายใต้บรรยากาศควบคุม การไล่อากาศ การทำให้เป็นสภาวะเฉื่อย การสนับสนุนอุปกรณ์ และกระบวนการอื่นที่มีข้อกำหนดด้านการควบคุมออกซิเจนอย่างชัดเจน
การตัดสินใจเลือกระบบที่สำคัญไม่ได้อยู่ที่การเลือกความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนสูงที่สุดที่มีอยู่
ระบบที่เชื่อถือได้ควรสร้างสมดุลระหว่าง:
ข้อมูลจำเพาะของก๊าซในกระบวนการ → ความบริสุทธิ์และออกซิเจนตกค้าง → อัตราการไหล → ความดัน ณ จุดใช้งาน → การควบคุมความชื้นและการปนเปื้อน → การปรับปรุงคุณภาพลมอัด → ระบบจัดเก็บในถังบัฟเฟอร์ → การตรวจติดตาม → ความซ้ำซ้อน
เมื่อกำหนดข้อกำหนดเหล่านี้อย่างชัดเจนและพิจารณาร่วมกันเป็นระบบเดียว การผลิตไนโตรเจนแบบ PSA สามารถให้แหล่งจ่ายไนโตรเจนที่มีเสถียรภาพและสามารถควบคุมได้สำหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์หลายประเภทและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์บางประเภท
สามารถตรวจสอบอุปกรณ์ที่มีให้เลือกได้จาก เครื่องผลิตไนโตรเจนของ Lingyu
